摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體工廠設(shè)備的分布式管理系統(tǒng)，包括設(shè)備服務(wù)端，數(shù)據(jù)中心服務(wù)器以及遠(yuǎn)程終端。其中，設(shè)備服務(wù)端與半導(dǎo)體工廠內(nèi)的各設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)交互；數(shù)據(jù)中心服務(wù)器與設(shè)備服務(wù)端和遠(yuǎn)程終端相連，并進(jìn)行數(shù)據(jù)交互；遠(yuǎn)程終端通過(guò)所述數(shù)據(jù)中心服務(wù)器獲取各設(shè)備的數(shù)據(jù)以及對(duì)各設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)管理。本發(fā)明能夠輔助使用者對(duì)半導(dǎo)體工廠設(shè)備進(jìn)行遠(yuǎn)程托管。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人魏靖南;張立超;鐘結(jié)實(shí);賈軼群;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410058363.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年02月20日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103763401A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年04月30日
- 分類號(hào)H04L29/08(2006.01)I;
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