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產(chǎn)品報價： ￥10元

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產(chǎn)品熱度：加載中

品　　牌：Hiden Analytical

產(chǎn)品型號：等離子體質(zhì)量和能量分析儀 EQP

制造廠商：英國 Hiden

適用范圍：高教

所在地區(qū)：英國

EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀 

Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics

　　儀器介紹

　　Hiden EQP是一臺結(jié)合質(zhì)量和能量分析的儀器（Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics），用于分析等離子過程中陰、陽離子、中性粒子以及自由基。

　　主要特點

　　·  軟件控制的離子汲取光學系統(tǒng)，以使等離子體擾動小

　　· 45°靜電扇區(qū)分析器，掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM

　　· 所有能量范圍內(nèi)，離子行程的小擾動，及恒定離子傳輸

　　· 帶差式泵的三級過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu

　　· 高靈敏度 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器，有7個數(shù)量級的動態(tài)范圍

　　· 可調(diào)諧的離子源，用于電子附著選件的表觀電勢質(zhì)譜分析

　　· Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護

　　· 信號選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布隨時間的變化

　　· 1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體

　　· Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選

　　· 通過RS232、RS485或Ethernet LAN，控制軟件MASsoft

　　應用：

　　· 蝕刻 / 沉積作用研究

　　· 離子植入 / 激光燒蝕

　　· 殘余氣體分析 / 泄漏檢測

　　· 等離子體電感耦合，即在操作中遵從電極設(shè)定條件

　　· 通過視口、接地電極和驅(qū)動電極進行分析