產(chǎn)品特點(diǎn)：
可集成MBRAUN手套箱(由過(guò)渡艙實(shí)現(xiàn)連接)
可處理50 x 50 mm大小的晶圓基板
緊湊型設(shè)計(jì)
低成本、經(jīng)濟(jì)型方案
交貨快
安裝簡(jiǎn)單、方便
易于工藝改造和提升
應(yīng)用行業(yè)：
OLEDs/有機(jī)光電子
光伏太陽(yáng)能
