產(chǎn)品特點(diǎn)：
集成手套箱
緊湊型設(shè)計(jì)
經(jīng)濟(jì)型解決方案
配置簡(jiǎn)單
多源共蒸
一致性標(biāo)準(zhǔn)偏差在+/-3 %區(qū)間 (幾何式設(shè)計(jì)可縮小至+/-1 %)
兩種型號(hào)可選: PROvap 4G 和 PROvap 5G
多可實(shí)現(xiàn)8源共蒸
PROvap 4G可用于大小100x100 mm或直徑100 mm (4英寸)的基板
PROvap 5G可用于大小150x150 mm 或直徑150 mm (6英寸)的基板
應(yīng)用行業(yè)：
