產(chǎn)品特點(diǎn):
模塊化設(shè)計(jì)
可單獨(dú)使用(S)或集成于手套箱(G)
不同的模塊之間可實(shí)現(xiàn)自由組合
多基板&多掩模工藝
一致性標(biāo)準(zhǔn)偏差在+/-3 %區(qū)間(幾何式設(shè)計(jì)可縮小至+/-1 %)
OPTIvap 4可用于大小150x150 mm或直徑150 mm (6英寸)的基板
OPTIvap 6可用于大小200x200 mm 或直徑280 mm (8英寸)的基板
應(yīng)用行業(yè):
復(fù)雜的多層鍍膜設(shè)備(用于OLED,OPV)
光學(xué)鍍膜
光伏、半導(dǎo)體行業(yè)