低成本-高精度
Filmetrics的 Profilm3D/Profilm3D-200讓3D光學輪廓測量的價格變得更加能夠接受。Profilm3D使用垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術。以前所未有的價格實現(xiàn)次納米級的表面形貌研究。

標準配置
1、自動XY移動平臺
2、100mmx100mm移動范圍 (Profilm3D)
3、200mmx200mm移動范圍(Profilm3D-200)
4、100mm自動聚焦范圍
5、4孔物鏡轉臺
6、+/-5°水平可調樣品臺

7、業(yè)界領先的500um壓電陶瓷行程
8、業(yè)界領先的10倍物鏡下2mm視場范圍
參數(shù): Profilm3D
XY樣品臺移動范圍:100mm x 100mm
樣品寬度:265mm
設備尺寸:WxDxH:305mm x305mmx550mm
設備重量:15kg
參數(shù): Profilm3D-200
XY樣品臺移動范圍:200mm x 200mm
樣品寬度:365mm
設備尺寸,WxDXH:406mm x 406mmx550mm
設備重量:22kg